工业超纯水工程方案
一、进水参数
　　 源水：城市自来水、地下水（需要检测水样）、进水压力＞0.3MPa，进水电导率＜800us/cm；进水电导率＞800us/cm时，建议使用双级反渗透。
　　 1、设计参数：100升/天到50吨每天
　　 2、出水标准：*或二级电子用超纯水标准
二、工艺流程
采用反渗透加去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→一级混床→二级精混床→微滤器→用水点
采用去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→用水点
采用反渗透加电去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→电去离子装置（EDI）→微滤器→用水点